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高纯氯化氢已广泛地应用在大规模集成电路制备中


创建时间 2020-09-28 11:19:50

  解吸法和盐酸脱析法制备氯化氢工艺简单可大规模生产,但制备的氯化氢气体纯度偏低,越来越不能满足电子工业尤其是集成电路的要求。合成法生产的氯化氢气体纯度较高,但其中水含量高,腐蚀严重,对设备要求高,生产成本高。考虑到环保及丁业副产品回收利用等多方面因素,石油化工副产氯化氢提纯法生产高纯氯化氢确是大势所趋,而且用这个方法无须外加反应介质,从而避免了其他杂质的引入,而且操作简单,生产成本低。但是我国在这项技术上还不成熟。我国电子工业所用高纯氯化氢大多是从美、日等国进El,且价格昂贵 ,随着电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的发展,高纯氯化氢已广泛地应用在大规模集成电路制备中,所以我们需要对高纯氯化氢的制备方法和生产工艺做进一步的研究和完善。

  先后用型分子筛和型干燥剂进行了除去氯化氢中微量水深度的小试验。试验表明,除水深度相差不大,但JMT型干燥剂耐酸性好,在68%的硝酸中煮沸24小时,并在常温下浸泡3个月,其晶格仍未破坏。

  为了测定在吸饱HCl-H2O件下的耐酸性,曾使样品吸HCl-H2O饱和后,用塑料袋密封放置多天,再生后再测其吸水性能,吸水量仍未下降。其耐酸性能良好。A型分子筛耐酸性能差,吸附性能大幅度下降。JMT型干燥剂是一种含硅铝比的丝光沸石型分子筛,具有良好的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。

  我公司专业经营高纯氯化氢、氯气、高纯氯、高纯氯气、硫化氢等产品,产品质量好,价格公道,深受行业的好评,是值得信赖的氯气生产供应基地。欢迎新老用户前来咨询洽谈!