高纯气体多危险性极强，所以，不管是承装容器还是输送管道都需要特殊的质量及安装要求。 

  （1）根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长。 

  （2）管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置。 

  （3）对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。 

  （4）对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统。 

  （5）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S。 

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